製品情報

  • C4F6・C5F8・COS用検知器
    TP-70DGU

    • 定置式
    • 検知部
    • 吸引式

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      カタログ 取扱説明書

    特徴

    ・触媒入り熱分解器の採用により干渉影響を低減
    ・センサワンタッチ交換
    ・ニューインテリジェントセンサ搭載
    ・見易い大型キャラクタLCD採用
    ・流量自動調整機能搭載

    用途

    ・半導体工場におけるC4F6/C5F8/COSの検知に
    ・シリンダーキャビネット、半導体製造装置
    ・クリーンルーム内環境用

    仕様

    製品カテゴリ 定置式
    タイプ スマートタイプ検知部
    検知対象ガス

    C4F6/C5F8/COS

    検知原理 触媒+定電位電解式
    検知範囲 0〜5ppm(C4F6・C5F8
    0〜15ppm(COS)
    ガス警報測定値 1st:2ppm/2nd:4ppm(C4F6・C5F8
    1st:5ppm/2nd:10ppm(COS)
    検知方式 ポンプ吸引式
    警報の種類 ガス警報/故障警報
    警報の動作 1st:ALM1ランプ点滅、または点灯(赤)
    2st:ALM2ランプ点滅、または点灯(赤)
    電源 AC100〜240V±10%
    外形寸法・質量 約180(W)×225(H)×285(D)mm(突起部は除く)
    約6.0kg
    使用温湿度範囲 20〜40℃(急変なきこと)
    40〜70%RH(結露なきこと)


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