半導体市場向け新型マルチガス検知部『GD-84Dシリーズ』発売のお知らせ
理研計器株式会社(本社:東京都板橋区)は、新型マルチガス検知部 GD-84Dシリーズの
販売を開始いたしましたのでお知らせいたします。
半導体工場では、半導体材料ガスとしてたくさんの種類と量の毒性ガスや可燃性ガスが使用されています。
近年では工場の大規模化に伴い、保安デバイスであるガス検知器の点数やコストも大きくなり、
ご負担となっておりました。当社では、産業用ガス検知警報器のパイオニアとしてお客様のニーズに
応えるべく、総合的なコストパフォーマンスを追求した新発想のガス検知器を開発いたしました。
GD-84Dシリーズは、従来センサから大幅に小型化した次世代高機能センサ(Fセンサ)を搭載することで
従来の単成分ガス検知器2台分のサイズで、最大4台分のガス検知が可能となります。
また、4台分の検知器を1台に集約することで、イニシャルコストの負担となる電気・通信配線や
サンプリング配管コストが1/4となり、また、検知器自体のサイズが小さくなることで、
設置スペース(ガス検知器用ラック等)の削減にもつながります。
同一の半導体製造装置において、複数種類のガスを使用している場合、施工面での大きな
コストパフォーマンスを発揮します。また、PoE(Power over Ethernet)に対応しており、
PoE HubからLANケーブル1本でガス検知器の電源供給と、ガス検知器の状態をデジタル通信出力で
上位に出力することが可能となるため、工場の総合ガス監視システム構築に適した製品に
なっております。
【主な用途】
半導体工場
【定価(税抜き)】
80万円(PoE 仕様、センサ4点実装の場合)
※価格は仕様により異なります。
【販売開始】
2020年11月16日
【出荷開始予定】
2021年1月12日
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